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基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究

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以平面环形微腔结构为核心器件,基于量子力学的隧道效应和"参量振荡不稳定"效应,结合理论计算及ANSYS和Beamprop仿真,设计出基于环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器,特别是在1.55μm的谐振波下,对所设计的位移传感器进行了ANSYS力学仿真、Beamprop传输特性仿真以及输出特性数值模拟,论证了位移传感器的可行性,并为以后的实验奠定了基础.
Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure

吉喆、闫树斌、胡阳、刘鑫、严英占、王少辉

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中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051

平面环形微腔 隧道效应 参量振荡不稳定 位移传感器

国家自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展规划(973计划)山西省重点实验室开放基金山西省重点实验室开放基金电子测试技术国防重点实验室基金

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2009

纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会

纳米科技

ISSN：1812-1918
年,卷(期)：2009.6(2)
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