纳米科技2009，Vol.6Issue(2) ：33-37.

基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究

Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure

吉喆 闫树斌 胡阳 刘鑫 严英占 王少辉
纳米科技2009，Vol.6Issue(2) ：33-37.
✕
  • NETL
  • NSTL
  • 维普
  • 万方数据

基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究

Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure

吉喆 1闫树斌 1胡阳 1刘鑫 1严英占 1王少辉1
扫码查看

作者信息

  • 1. 中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051
  • 折叠

摘要

以平面环形微腔结构为核心器件,基于量子力学的隧道效应和"参量振荡不稳定"效应,结合理论计算及ANSYS和Beamprop仿真,设计出基于环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器,特别是在1.55μm的谐振波下,对所设计的位移传感器进行了ANSYS力学仿真、Beamprop传输特性仿真以及输出特性数值模拟,论证了位移传感器的可行性,并为以后的实验奠定了基础.

关键词

平面环形微腔/隧道效应/参量振荡不稳定/位移传感器

引用本文复制引用

基金项目

国家自然科学基金(60707014)

国家自然科学基金(60778029)

国家重点基础研究发展规划(973计划)(2006CB708308)

山西省重点实验室开放基金(200603020)

山西省重点实验室开放基金(200603008)

电子测试技术国防重点实验室基金(9140C1204040706)

出版年

2009
纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会

纳米科技

ISSN：1812-1918
参考文献量1
段落导航相关论文