压电陶瓷微位移器特性测试实验研究

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中文摘要：运用光学干涉原理,结合微系统测试分析仪器,分别对压电陶瓷管和压电陶瓷位移器的非线性特性进行测试研究,主要对升压及降压时PZT位移进行测试和电源驱动器闭环状态下的性能测试.

外文标题：Laboratory Study of Characteristic Testing for Piezoelectric Ceramic Micropositioning

作者：

李明、薛晨阳、翟成瑞

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作者单位：

中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室

关键词：

压电陶瓷微位移压电陶瓷微位移器闭环干涉

出版年：

2009

纳米科技

西安纳米科技学会陕西省电子学会纳米技术专业委员会

ISSN：1812-1918

年,卷(期)：2009.6(3)