纳米蚀刻技术、性能及应用

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外文标题：Advance of Nanolithography, its Applications and Prospects

外文摘要：ity.

外文关键词：

nanolithographynear field lithographycombined nanoimprintphotolithography

作者：

陈宜方

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作者单位：

英国卢瑟福Appleton国家实验室微纳技术中心

关键词：

nanolithography near field lithography combined nanoimprint photolithography

出版年：

2009

纳米科技

西安纳米科技学会陕西省电子学会纳米技术专业委员会

ISSN：1812-1918

年,卷(期)：2009.6(4)