纳米蚀刻技术、性能及应用
Advance of Nanolithography, its Applications and Prospects
陈宜方1
作者信息
- 1. 英国卢瑟福Appleton国家实验室微纳技术中心
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关键词
nanolithography/near field lithography/combined nanoimprint/photolithographyKey words
nanolithography/near field lithography/combined nanoimprint/photolithography引用本文复制引用
出版年
2009
NETL
NSTL
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