纳米科技2009，Vol.6Issue(4) ：35-37,41.

Au/SiO2复合纳米颗粒膜及SiO2纳米线的制备

Fabration of the SiO2 Nanowires Using Au Catalysts Template Prepared by Magnetron Sputtering

李玉国 卓博世 张敬尧 崔传文 张月甫 扬爱春
纳米科技2009，Vol.6Issue(4) ：35-37,41.
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Au/SiO2复合纳米颗粒膜及SiO2纳米线的制备

Fabration of the SiO2 Nanowires Using Au Catalysts Template Prepared by Magnetron Sputtering

李玉国 1卓博世 1张敬尧 1崔传文 1张月甫 1扬爱春1
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作者信息

  • 1. 山东师范大学物理与电子科学学院半导体研究所,山东,济南,250014
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摘要

室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜,并分不同温度进行退火处理.1000℃退火时自组装生成空间分布均匀(直径约为70 nm)的Au纳米点,从而用自组装生长方法制备了生长一维纳米材料的模板,然后,将Au催化剂模板在1 100℃下退火处理,生成纳米线,SEM和TEM测试,制备的SiO2纳米线直径约为100 nm,长度约为4μm,表面光滑,直且粗细均匀.

关键词

磁控溅射/模板/SiO2纳米线

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基金项目

教育部留学回国人员科研启动基金()

出版年

2009
纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会

纳米科技

ISSN：1812-1918
参考文献量16
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