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磁控溅射低温沉积ITO薄膜及其光电特性研究
磁控溅射低温沉积ITO薄膜及其光电特性研究
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中文摘要：
率变小,进而对样品的光电性能产生明显影响.
外文标题：
Research on Photoelectric Characteristics of ITO Film Prepared by DC Magnetron Sputtering at low Temperature
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作者：
江伟、武光明、王怡、邢光建、韩彬
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作者单位：
北京石油化工学院,北京,102617
关键词：
直流磁控溅射
ITO薄膜
低温
光响应
基金：
北京市教育委员会科技发展计划面上项目
项目编号：
KM200610017009
出版年：
2009
纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会
纳米科技
ISSN：
1812-1918
年,卷(期)：
2009.
6
(4)
被引量
2
参考文献量
12
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