环境友好半导体β-FeSi2薄膜的制备方法研究

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中文摘要：分析了制备和热处理过程中薄膜沉积方法和沉积条件、沉积速率、薄膜厚度、热处理方法和热处理条件等因素对β-FeSi2相的形成的影响,结果表明,影响β-FeSi2相形成的决定性因素是热处理的温度和时间,此外薄膜的沉积方法和薄膜厚度对β-FeSi2相也有重要的影响.

外文标题：Research of Preparing Methods of Ecological Semiconductor β-FeSi2 Films

作者：

马道京、张晋敏、王衍、朱培强、陈站、谢泉

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作者单位：

贵州大学理学院,贵州大学新型光电子材料与技术研究所,贵州,贵阳,550025

关键词：

薄膜制备环境友好半导体β-FeSi2 热处理工艺

基金：

贵州省自然科学基金贵州省科技厅国际合作项目贵阳市科学技术局大学生创业科技项目贵阳市科学技术局大学生创业科技项目贵州大学研究生创新基金

项目编号：

黔科合J字[2008]2002号黔科合外G字2009700113号筑科计20076-3号筑科计20076-1号校研理工2009011

出版年：

2009

纳米科技

西安纳米科技学会陕西省电子学会纳米技术专业委员会

ISSN：1812-1918

年,卷(期)：2009.6(5)