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磁流变抛光光学非球面元件表面误差的评价

Evaluation on the figure errors of optical aspheric surfaces after magnetorheological polishing

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正确评价抛光后光学非球面元件表面面形的波前畸变是确保实现光学非球面元件超精密制造的关键.该文提出了结合功率谱密度法和残余误差法并考虑非球面元件表面中频误差的综合评价方法.将提出的综合评价标准应用到磁流变数控抛光过程中,进一步明确了表面残余误差与抛光工艺参数之间的关系,建立了有效消除表面残余误差的抛光工艺规范.按照这一工艺规范制造出一块抛物面光学反射镜,其面形精度达到λ/30(λ=0.632 8 μm), 残余误差为3λ/1 000. 该方法可为深入开展高精度磁流变抛光技术研究提供参考.

程灏波、冯之敬、王英伟

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清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084

长春理工大学,材料工程系,长春,130022

干涉仪 抛光 非球面 空间频率 功率谱密度

国家自然科学基金中国博士后科学基金

501750622003034142

2004

清华大学学报(自然科学版)
清华大学

清华大学学报(自然科学版)

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.586
ISSN：1000-0054
年,卷(期)：2004.44(11)
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