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TFT-LCD光刻工艺有机物危害分析及控制措施探讨

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制造技术的研究加深和利用,使得我国的制造业有了明显的进步,整个制造产业的稳定性和成熟性也有了明显的提升.就现阶段的分析来看,薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)制造业在近年来有了迅速的发展,而且在新工厂的不断开工建设和已建工厂的稳定运行中,行业发展的成熟度和标准性均在提升.在这样的大环境下,行业内部暴露的问题也越来越显著,其中,最突出的便是TFT-LCD光刻工艺实践中的有机物异味问题.文章就TFT-LCD光刻工艺有机物的危害做具体分析并讨论控制措施,旨在为实践提供帮助.
Discussion on Hazard Analysis and Control Measures of Organic Matter in TFT-LCD Lithography Process

姚彦红

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友达光电(厦门)有限公司,福建 厦门 361102

TFT-LCD光刻工艺 有机物 危害 控制措施

2019

企业技术开发(学术版)
湖南省科技信息研究所

企业技术开发(学术版)

影响因子：1.4
ISSN：1006-8937
年,卷(期)：2019.38(4)
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