摘要
为了达到粗糙度与轮廓同时测量的目的,设计了杠杆加簧片的悬臂梁结构二维微位移传感器,采用了二维工作台叠加垂直位移工作台作为移动部件,开发了测控电路及三维轮廓测量软件,完成了三维轮廓测量仪的研制.完成后对仪器进行了精度测试及应用验证,结果表明其测量准确,能够满足表面轮廓测量的需要.
基金项目
广东省教育厅智能制造装备技术工程技术中心项目(2022)(2022GCZX025)
广东省教育厅"智能测控技术"创新团队项目(2020)(2020KCXD065)
广东省教育厅特色创新项目(自然科学类)(KJ20181371)