人工晶体学报2024，Vol.53Issue(4) ：739.

半导体晶圆检测关键连续波深紫外激光光源研制

徐国锋 王正平 王树贤 武奎 梁飞 路大治 张怀金 于浩海
人工晶体学报2024，Vol.53Issue(4) ：739.
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半导体晶圆检测关键连续波深紫外激光光源研制

徐国锋 1王正平 1王树贤 1武奎 1梁飞 1路大治 1张怀金 1于浩海1
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作者信息

  • 1. 山东大学晶体材料研究院,晶体材料国家重点实验室,济南 250100
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出版年

2024
人工晶体学报
中材人工晶体研究院

人工晶体学报

CSTPCD北大核心
影响因子：0.554
ISSN：1000-985X
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