首页|半导体工艺设备维修过程中安全风险管理

半导体工艺设备维修过程中安全风险管理

扫码查看
原文链接
  • 万方数据
  • 维普
针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度.根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升了维修质量,保障半导体工艺设备的正常运行.

朱超、刘霞美、王秀海、赵英伟

展开 >

中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051

半导体工艺设备 设备维修 风险辨识

2024

10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.01D.01

设备管理与维修
中国机械工程学会 北京卓众出版有限公司

设备管理与维修

影响因子：0.13
ISSN：1001-0599
年,卷(期)：2024.(2)
  • 2