设备管理与维修2024，Issue(2) ：1-3.DOI:10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.01D.01

半导体工艺设备维修过程中安全风险管理

朱超 刘霞美 王秀海 赵英伟
设备管理与维修2024，Issue(2) ：1-3.DOI:10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.01D.01
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半导体工艺设备维修过程中安全风险管理

朱超 1刘霞美 1王秀海 1赵英伟1
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作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051
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摘要

针对半导体工艺设备特点,对设备维修过程中安全风险因素进行辨识、分类、分析,强化维修过程中安全意识,建立一系列安全体系规章制度.根据工艺设备特点有针对的制定维修安全方案,能够保障设备维修人员安全,规范设备维修流程,同时也提升了维修质量,保障半导体工艺设备的正常运行.

关键词

半导体工艺设备/设备维修/风险辨识

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出版年

2024
设备管理与维修
中国机械工程学会 北京卓众出版有限公司

设备管理与维修

影响因子：0.13
ISSN：1001-0599
参考文献量2
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