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浅谈半导体制造设备点检的必要性
浅谈半导体制造设备点检的必要性
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中文摘要：
半导体制造设备的稳定性对集成电路生产至关重要,因此及时发现并消除设备隐患,提高设备的稳定性和可靠性尤为重要.在设备管理方面,点检是发现设备隐患的有效手段之一.
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作者：
赵军民
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作者单位：
北京微电子技术研究所,北京 100076
关键词：
半导体制造设备
稳定性
设备管理
点检
出版年：
2024
DOI：
10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.07.04
设备管理与维修
中国机械工程学会 北京卓众出版有限公司
设备管理与维修
影响因子：
0.13
ISSN：
1001-0599
年,卷(期)：
2024.
(13)
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