设备管理与维修2024，Issue(13) ：9-12.DOI:10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.07.04

浅谈半导体制造设备点检的必要性

赵军民
设备管理与维修2024，Issue(13) ：9-12.DOI:10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2024.07.04
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浅谈半导体制造设备点检的必要性

赵军民1
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  • 1. 北京微电子技术研究所,北京 100076
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摘要

半导体制造设备的稳定性对集成电路生产至关重要,因此及时发现并消除设备隐患,提高设备的稳定性和可靠性尤为重要.在设备管理方面,点检是发现设备隐患的有效手段之一.

关键词

半导体制造设备/稳定性/设备管理/点检

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出版年

2024
设备管理与维修
中国机械工程学会 北京卓众出版有限公司

设备管理与维修

影响因子：0.13
ISSN：1001-0599
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