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Monte Carlo方法计算薄膜厚度测定背散射常数C(E0)

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应用蒙特卡罗方法模拟5 keV以下低能电子在Al,Cu,Ag,Au薄膜中的散射. 模型应用Mott散射截面和Joy方法修正的Bethe方程描述和计算低能电子在固体中弹性和非弹性散射.计算了薄膜背散射系数η随薄膜厚度D的变化,获得不同能量下的η～D关系并给出相应线性区Dmax分布.分析了η～D曲线初始线性区在低能时及随原子序数的变化,统计并应用最小二乘法计算得E0为3,4,5 keV下的背散射常数C(E0)以测定超薄膜厚度.给出一个E0从几keV到几十keV能量范围计算背散射常数的经验公式,由此计算Al,Cu,Au超薄膜、薄膜不同厚度时的η并与Fitting,Cosslett的实验比较,获得了吻合的结果.
CALCULATION ON BACKSCATTERING CONSTANT C(E0) OF DETERMINING FILMS THICKNESS BY MONTE CARLO METHOD

谭震宇、何延才

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山东大学电力工程学院 济南 250061

中国科学院上海硅酸盐研究所 上海 200050

蒙特卡罗方法 电子束/薄膜 背散射

2000

山东大学学报(工学版)
山东大学

山东大学学报(工学版)

CSTPCDCSCD
影响因子：0.634
ISSN：1672-3961
年,卷(期)：2000.30(6)
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