摘要
零差激光干涉仪在非接触精准测量中具有广泛应用前景,但在实际测量中设备可能会受到干扰导致信号失真,进而产生较大的测量误差.为解决这一问题,研究并设计了一种基于ZYNQ芯片的零差激光干涉仪正交信号处理系统,系统具有分布并行结构,使用ZYNQ芯片的片上ARM进行特征参数的提取运算,同时利用可编程逻辑阵列实现数据的处理,能够实时、准确地对正交信号进行矫正和显示.实验结果表明,所提出的系统能够有效矫正带有偏差的椭圆信号,减少测量误差;此信号处理系统在计算物体运动速度时,误差小于 0.000 1 m/s.因此,该基于ZYNQ的零差激光干涉仪正交信号处理系统为非接触精准测量领域带来了新的应用前景.