世界有色金属2022，Issue(16) ：144-147.

浅谈多晶硅生产中碳杂质的分布和去除

Discussion on the distribution and removal of carbon impurities in polysilicon production

何鹏 杨洋
世界有色金属2022，Issue(16) ：144-147.
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浅谈多晶硅生产中碳杂质的分布和去除

Discussion on the distribution and removal of carbon impurities in polysilicon production

何鹏 1杨洋1
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  • 1. 内蒙古通威高纯晶硅有限公司,内蒙古包头 014000
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摘要

多晶硅企业生产中,从工业硅不可避免的引入碳杂质,在氯硅烷体系中以甲基取代基的形式体现,在氢气中以甲烷、一氧化碳或二氧化碳体现,最终,以代位碳(碳化硅)的形式体现.随着N型单晶硅的和半导体晶硅的发展,研究碳杂质的分布和去除已是多晶硅企业科技进步的重点.

关键词

甲基氯硅烷/三氯氢硅/四氯化硅/取代反应

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出版年

2022
世界有色金属
有色金属技术经济研究院

世界有色金属

影响因子：0.138
ISSN：1002-5065
参考文献量1
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