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基于电场驱动微3D打印的大高宽比微模具制造

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微模具在微纳制造领域具有广泛应用,为了实现大高宽比微模具的低成本、简单化制作,提出一种基于电场驱动微3D打印及毛细力光刻的微模具制作方法.首先打印多层大高宽比微结构母模板,再将其结构特征转移至聚二甲基硅氧烷(PDMS)凹模具,最后再经过毛细力光刻过程制作大高宽比聚合物微模具.详细阐述了大高宽比微结构母模板的打印原理及聚合物微模具的制作原理,探究了打印工艺参数对微结构母模板形貌的影响规律.使用优化的打印参数制备了高宽比为5的微结构母模板,并复制出相应深宽比的PDMS凹模具.最终由PDMS凹模具复制的聚合物微模具不仅有着更大的高宽比,还可用于金属网格透明电极等元件的批量化制作.
Fabrication of Micro-mold with High Aspect Ratio Based on Electric-field-driven Microscale 3D Printing

孙銮法、朱晓阳、王瑞、朱晓东、葛文嵩、商帅、周君仪、王泽林

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青岛理工大学机械与汽车工程学院,山东青岛266520

临沂新程金锣肉制品集团有限公司,山东临沂276036

微模具 微3D打印 大高宽比 低成本

国家自然科学基金山东省高等学校青创科技支持计划山东省自然科学基金

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2022

10.3969/j.issn.1005-5770.2022.10.014

塑料工业
中蓝晨光化工研究院有限公司

塑料工业

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.685
ISSN：1005-5770
年,卷(期)：2022.50(10)
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