厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响
Effects of thickness on the properties of AZO films
王岩岩 1吴明智 2俞友明 1王飞 3吴雪梅 3诸葛兰剑4
作者信息
- 1. 苏州大学文正学院,江苏苏州215006
- 2. 苏州大学物理科学与技术学院,江苏苏州215006
- 3. 苏州大学物理科学与技术学院,江苏苏州215006;江苏省薄膜材料重点实验室,江苏苏州215006
- 4. 苏州大学物理科学与技术学院,江苏苏州215006;苏州大学分析测试中心,江苏苏州215006
- 折叠
摘要
室温下,采用射频磁控溅射法在单晶硅及石英片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,所用靶材为掺杂Al2O3的ZnO多晶烧结靶,其中Al2O3所占质量百分数为2％,分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、霍尔效应测试系统和紫外-可见分光光度计来研究不同的薄膜厚度对AZO薄膜结构、表面形貌、电学和光学性质的影响.结果表明:制备的AZO薄膜具有良好的c轴择优取向,同时随着薄膜厚度的增加,薄膜结晶性能变好,电阻率降低,可见光透过率减小.薄膜厚度为1420nm时具有最佳的光、电特性,其电阻率可降至4.2×10-3Ω.cm,可见光范围的平均透过率大于82％,且在600nm波段的透过率高达92％.
Abstract
ZnO:Al (AZO) films were prepared on Si and quartz glass substrates by radio frequency, magnetron sputtering with a sintered ZnO ceramic target with 2.0 wt. % Al203content. X-ray diffraction, scanning electron microscope, hall effect measurements and UV-VIS-NIR spectrophotometer were used to investigate the structure, electrical and optical properties of AZO films with different thickness. All the films showed a good c-axis texture. Besides, with the increase in thickness, the crystal quality is improved but the optical transmittance and the resistivity is decreased. The 1 420 nm AZO films shows best properties, I. E. An average transmittance over 82% , a resistivity ~ 4. 2 x 10-3 ft ? Cm,and 92% transmittance at 600 nm wavelength.
关键词
AZO/磁控溅射/膜厚Key words
AZO/magnetron sputtering/thickness引用本文复制引用
基金项目
国家自然科学基金(10575073)
苏州市科技计划项目(SYJG0901)
苏州大学2010年国家级大学生创新性实验计划项目(5731500910)
青蓝工程()
出版年
2012
NETL
NSTL
维普
万方数据