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实现低气压射频辉光放电的电极设计及实验研究

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采用容性平行电极板和针管电极相结合的形式实现了超低气压下的射频辉光放电,通过实验探究了10-3 Pa量级下的辉光放电的起辉条件,分析了工作气流量大小的影响,得到了电压和电流的关系、辉光放电形貌变化以及放电的发射光谱,并通过计算得到该条件下的电子密度.
Electrode Design for Low-Pressure RF Glow Discharge and Experimental Study

苏永飞、李占贤、张钧尧

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华北理工大学 河北省工业机器人产业技术研究院 ,河北 唐山 063210

清华大学 工程物理系 ,北京 100084

低气压 射频辉光 等离子体 复合型电极

2020

机械工程与自动化
山西省机电设计研究院 山西省机械工程学会

机械工程与自动化

影响因子：0.251
ISSN：1672-6413
年,卷(期)：2020.(1)
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