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基于MEMS技术的三维测量系统研究

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通过结合光学MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术对三维测量系统进行了深入研究,分析了基于M EM S的三维测量系统测量原理,完成了三维测量系统核心器件选择及测量系统的搭建,对三维测量系统的三维结构进行了设计,并对安装壳体三维结构图、器件安装板安装示意图以及测量系统整体装配效果图进行了绘制.
Research on 3D Measurement System Based on MEMS Technology

杨学文、敖良忠、马瑞阳

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中国民用航空飞行学院 航空工程学院 ,四川 广汉 618307

MEMS 三维测量 相移法

2020

机械工程与自动化
山西省机电设计研究院 山西省机械工程学会

机械工程与自动化

影响因子：0.251
ISSN：1672-6413
年,卷(期)：2020.(1)
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