首页|全自动硅棒滚圆开槽一体机的设计与应用

全自动硅棒滚圆开槽一体机的设计与应用

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
根据半导体行业硅棒加工需求,设计了一台集硅棒滚圆、晶向检测、开槽等功能于一体的全自动硅棒滚圆开槽一体机,可加工6"、8"和12"半导体硅棒.介绍了半导体硅棒的加工精度要求和硅棒滚圆开槽一体机的总体设计方案,针对机床的底座组件、自动上下料组件、夹持组件、磨削组件、晶向检测组件等部件做了结构和功能详述,并简述了机床全自动加工过程以及该机床的优势.
Design and Application of Automatic Silicon Rod Spheronization Grooving Integrated Machine

戴鑫辉、李林、段景波、乔石、徐公志、赵晓

展开 >

青岛高测科技股份有限公司,山东青岛 266114

滚圆开槽一体机 半导体硅棒 全自动加工

2020

机械工程与自动化
山西省机电设计研究院 山西省机械工程学会

机械工程与自动化

影响因子：0.251
ISSN：1672-6413
年,卷(期)：2020.(4)
  • 1
  • 1