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微型石英晶体谐振器电极激光加工温度场仿真分析

Simulation Analysis of Temperature Field in Laser Machining of Micro Quartz Crystal Resonator Electrode

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以石英晶体谐振器电极银层的激光刻蚀调频加工过程为研究对象,综合考虑了被加工材料的热物理参数和相应边界条件,利用ANSYS有限元软件仿真模拟了脉冲激光刻蚀加工过程中谐振器电极银层温度场分布情况,分析了不同激光加工工艺参数对材料温度的影响.分析结果表明,温度随与热源中心距离增加而减小,温度场呈近似椭圆形扩散,最高温度随激光加工功率、激光脉冲宽度的增大和加工速度的降低而增加.通过与实验结果的比较验证了仿真结果的正确性,为实际加工的工艺参数选取提供了理论参考.

方豹、辜志强、吴彦霖、李刚炎

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武汉理工大学机电工程学院,湖北 武汉 430070

石英晶体谐振器 温度场仿真 激光加工

湖北省高新技术产业发展专项

1440

2021

机械工程与自动化
山西省机电设计研究院 山西省机械工程学会

机械工程与自动化

影响因子：0.251
ISSN：1672-6413
年,卷(期)：2021.(3)
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