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金属有机物化学气相沉积设备的智能化研究

Intelligent Research of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Equipment

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金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备深度嵌入信息技术,是高端芯片、新型传感器、工业控制计算机、智能仪器仪表与控制系统、工业软件、互联网技术、信息安全技术等的集成应用.通过对MOCVD装备的互联互通能力、自感知能力、自适应能力、自诊断能力、数据收集能力等五个方面的智能化水平进行研究,使其具备自感知、自诊断、自适应、自决策等功能.

王亮、向晓静

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季华科技有限公司,广东 佛山 528000

广东众元半导体科技有限公司,广东 佛山 528251

MOCVD 自感知 自诊断 自适应

2021

机械工程与自动化
山西省机电设计研究院 山西省机械工程学会

机械工程与自动化

影响因子：0.251
ISSN：1672-6413
年,卷(期)：2021.(3)
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