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X射线光电子能谱荷电校准方法研究进展

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X射线光电子能谱(XPS)测试结果通常存在误差,受环境、仪器等影响,测试所得到的样品结合能数值会偏移实际值.常用的C 1s峰校准方法在一些测量情况下存在一定的局限性,甚至获得的图谱会产生偏移或畸变.针对此问题,分析了表面充电原理以及C 1s峰校准方法的不适用情况,总结了多种荷电校准方法,并讨论了每个方法的应用条件及其优缺点.
Research Progress of X-ray Photoelectron Spectroscopy Charge Calibration Methods
In the X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)test,there are general errors in the results,the binding energy obtained by the test sample deviates from the actual value due to the influence of environment,instruments,and so on.The commonly used C 1s peak calibration method has limitations in some situations,and even the received spectrogram may be offset or distorted.Therefore,after analyzing the principle of surface charging and the inapplicability of C 1s method,this paper summarizes a variety of charge calibration methods.The conditions in applications of each method are compared,and the advantages and disadvantages are pointed out.

X-ray photoelectron spectroscopy(XPS)surface analysiscalibrationdistortion

刘殿方、乐韵琳、陈新、彭辉、冯均利、杨文超

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广西大学 省部共建特色金属材料与组合结构全寿命安全国家重点实验室 南宁 530004

广西大学 资源环境与材料学院,南宁 530004

深圳海关工业品检测技术中心,广东深圳 518067

X射线光电子能谱 表面分析 荷电校准 畸变

广西壮族自治区高等教育本科教学改革工程项目广西自然科学基金

2022JGB1072020GXNSFBA297062

2024

实验室研究与探索
上海交通大学

实验室研究与探索

CSTPCD北大核心
影响因子:1.69
ISSN:1006-7167
年,卷(期):2024.43(1)
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