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MOSFET晶圆导通电阻的双芯测量方案简介
MOSFET晶圆导通电阻的双芯测量方案简介
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中文摘要：
导通电阻的准确测量是低导通电阻MOSFET测试中的难点，为了保证测量准确性，必须采用开尔文测量。在晶圆测试中，由于MOSFET的漏极与探针台载片台相连，无法真正实现开尔文测量，影响导通电阻测量精度。本文介绍了一种双芯测量方案，可以实现MOSFET晶圆导通电阻的精确测量。
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作者：
孙海洋
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作者单位：
310000 杭州长川科技股份有限公司 浙江 杭州
关键词：
MOSFET
晶圆测试
导通电阻
开尔文测量
出版年：
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN：
年,卷(期)：
2019.
25
(8)
参考文献量
3
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