数字化用户2019，Vol.25Issue(8) ：77.

MOSFET晶圆导通电阻的双芯测量方案简介

孙海洋
数字化用户2019，Vol.25Issue(8) ：77.
✕
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据

MOSFET晶圆导通电阻的双芯测量方案简介

孙海洋1
扫码查看

作者信息

  • 1. 310000 杭州长川科技股份有限公司 浙江 杭州
  • 折叠

摘要

导通电阻的准确测量是低导通电阻MOSFET测试中的难点,为了保证测量准确性,必须采用开尔文测量.在晶圆测试中,由于MOSFET的漏极与探针台载片台相连,无法真正实现开尔文测量,影响导通电阻测量精度.本文介绍了一种双芯测量方案,可以实现MOSFET晶圆导通电阻的精确测量.

关键词

MOSFET/晶圆测试/导通电阻/开尔文测量

引用本文复制引用

出版年

2019
数字化用户

数字化用户

ISSN：
参考文献量3
段落导航相关论文