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浅析MEMS传感器在汽车电子中的应用
浅析MEMS传感器在汽车电子中的应用
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中文摘要：
MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技,其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面,目前主导MEMS市场的传感器已形成产业.在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下,汽车MEMS传感器发展迅速,现已成为相关部门争先投资开发的热点.
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作者：
左杰
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作者单位：
300350 思(天津)微系统有限责任公司 天津
关键词：
MEMS
汽车电子
应用
出版年：
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN：
年,卷(期)：
2019.
25
(14)
参考文献量
2
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