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磁控溅射技术简介及其应用

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真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用.真空镀膜技术主要有三种形式:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜以及真空离子镀膜.本文主要介绍真空磁控溅射技术及其应用.

聂鹏

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磁控溅射 真空 发展 应用

2019

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ISSN：
年,卷(期)：2019.25(16)
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