数字化用户2019，Vol.25Issue(16) ：192.

磁控溅射技术简介及其应用

聂鹏
数字化用户2019，Vol.25Issue(16) ：192.
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磁控溅射技术简介及其应用

聂鹏1
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  • 1. 528400 中山凯旋真空科技股份有限公司 广东 中山
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摘要

真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用.真空镀膜技术主要有三种形式:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜以及真空离子镀膜.本文主要介绍真空磁控溅射技术及其应用.

关键词

磁控溅射/真空/发展/应用

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出版年

2019
数字化用户

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ISSN：
被引量2
参考文献量1
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