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面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计
面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计
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中文摘要：
随着我国科学技术不断创新,"纳米技术"得到更多广泛应用,本文通过对面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计进行分析研究,将其实质性、重要性进行明确阐述,采用理论概述、原理论述及设计对策等方法,结合问题现状,提出优化建议,为纳米压印设备的实际应用奠定基础.
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作者：
陈振浩
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作者单位：
523000 东莞市美光达光学科技有限公司 广东 东莞
关键词：
微光学
纳米技术
纳米热压印设备
出版年：
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN：
年,卷(期)：
2019.
25
(16)
参考文献量
3
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