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半导体微电子技术与纳米技术
半导体微电子技术与纳米技术
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万方数据
中文摘要：
作为衡量国家科技水平的重要技术之一,半导体微电子技术发展前景良好.基于这种认识,本文对半导体微电子技术展开了分析,然后结合技术发展受到的限制对纳米技术进行了探讨,论述了技术应用和融合发展问题,为关注这一话题的人们提供参考.
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作者：
马良
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作者单位：
100088 国家知识产权局专利局电学发明审查部 北京
关键词：
半导体
微电子技术
纳米技术
出版年：
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN：
年,卷(期)：
2019.
(18)
参考文献量
1
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