初探六方氮化硼紫外探测器的研究现状

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中文摘要：氮化硼在微电子及光电子器件等方面有非常广泛的应用前景.本文介绍了近年来国内外不同结构类型的六方氮化硼基紫外探测器的研究状况,对六方氮化硼的薄膜质量、掺杂和金半接触特性等关键技术进行了探讨,并对未来六方氮化硼紫外探测器的发展重点做了展望,认为应该通过改善薄膜的制备技术来提高器件响应度.

作者：

何佳琦、赵曼、王维、陈迪晖、成浩男、李增润、庄舒文

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作者单位：

130022 长春理工大学材料科学与工程学院吉林长春

关键词：

氮化硼紫外探测器 MSM 掺杂响应度

基金：

国家自然科学基金面上基金吉林省科技发展项目

项目编号：

6177402320190101008JH

出版年：

2019

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ISSN：

年,卷(期)：2019.25(33)