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基于三菱电机控制系统控制提升研磨带对面板表面研磨的效率
基于三菱电机控制系统控制提升研磨带对面板表面研磨的效率
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中文摘要:
本次研究通过对研磨带进行GAP损耗补偿,改变设备研磨带使用量的上下限,从而达到降低研磨带更换频率的目的,最终实现提升研磨带利用率,节约经济成本,希望本文的研究能为研磨工艺积累宝贵的经验.
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作者:
王广兴、毛思遥
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作者单位:
210000 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 江苏 南京
关键词:
研磨带
研磨效率
GAP
损耗补偿
出版年:
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN:
年,卷(期):
2019.
25
(43)
参考文献量
1