数字化用户2019，Vol.25Issue(51) ：206.

薄膜干法刻蚀技术的现状分析

吴杰
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薄膜干法刻蚀技术的现状分析

吴杰1
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  • 1. 210033 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 江苏 南京
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摘要

文章对薄膜刻蚀原理进行了简单介绍,并对湿法和干法加工两大技术现状进行了探究,最后探讨了薄膜干法刻蚀技术的发展愿景,以希望给相关工作者以借鉴和思考.

关键词

薄膜干法刻蚀技术/现状分析/发展愿景

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出版年

2019
数字化用户

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ISSN：
参考文献量2
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