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薄膜干法刻蚀技术的现状分析

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文章对薄膜刻蚀原理进行了简单介绍,并对湿法和干法加工两大技术现状进行了探究,最后探讨了薄膜干法刻蚀技术的发展愿景,以希望给相关工作者以借鉴和思考.

吴杰

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薄膜干法刻蚀技术 现状分析 发展愿景

2019

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ISSN：
年,卷(期)：2019.25(51)
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