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TFT-LCD制造中的阵列缺陷分析和修复的探讨
TFT-LCD制造中的阵列缺陷分析和修复的探讨
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中文摘要：
在液晶显示制造过程中,为全面优化产品良率,需高度重视阵列缺陷检测以及修复工艺的重要性,有效融合了激光处理、缺陷检测、电路等效分析、修复技术以及薄膜特性分析等多种综合工艺.基于此,文章将第五代TFT-LCD生产工艺作为主要研究对象,重点阐述电性缺陷处理与修复技术,希望有所帮助.
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作者：
王红平、陆旭
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作者单位：
210033 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 江苏 南京
关键词：
TFT-LCD制造
阵列缺陷分析
修复
出版年：
2019
数字化用户
数字化用户
ISSN：
年,卷(期)：
2019.
25
(51)
参考文献量
2
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