数字化用户2019，Vol.25Issue(52) ：283.

干法刻蚀工艺对TFT-LCD Flicker改善的探讨

吴杰
数字化用户2019，Vol.25Issue(52) ：283.
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干法刻蚀工艺对TFT-LCD Flicker改善的探讨

吴杰1
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  • 1. 210033 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 江苏 南京
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摘要

在此次研究中,针对TFT-LCD干法刻蚀影响TFT特性的程度进行了重点研究,通过优化刻蚀条件,使Photo-Iof得以降低,实现改善TFT-LCD闪烁不良的目标.根据试验结果表明,在优化干法刻蚀工艺条件的基础上,使得TFT特性得以改善,且闪烁情况变化显著.

关键词

干法刻蚀工艺/TFT-LCD/Flicker/改善

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出版年

2019
数字化用户

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ISSN：
参考文献量3
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