电子级盐酸制备工艺及发展现状

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中文摘要：本文对电子级盐酸制备工艺及其发展现状进行深入分析.首先,介绍了电子级盐酸的质量标准与检测方法.其次,在明确通用制备流程的基础上,详细阐述了电解—净化法、R134A装置副产盐酸法、纯化—冷凝法三种电子级盐酸制备工艺的关键步骤和技术要点.最后,分析了电子级盐酸制备工艺的发展现状,包括原料纯度提升、工艺优化、废物处理等,展望了未来电子级盐酸制备工艺呈现更高纯度要求、绿色环保工艺、自动化和智能化生产及新材料的发展趋势.

作者：

彭家辉

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作者单位：

昆山欣谷微电子材料有限公司,江苏昆山 215300

关键词：

电子级盐酸制备工艺检测

出版年：

2024

DOI：

10.3969/j.issn.1008-1267.2024.03.006

天津化工

天津市化工科技信息研究所

天津化工

影响因子：0.214

ISSN：1008-1267

年,卷(期)：2024.38(3)

参考文献量5