探空仪的加热式湿度传感器及测量电路分析

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中文摘要：我国科学技术发展以来,探空仪加热式湿度传感器在一些领域中应用较为广泛,但是在应用的过程中存在一些问题,比如在湿度较高的环境易结露、电路板电容对于测量结果有影响以及湿度波动较大等,这对传感器正常使用有一定影响.为此,研究了具有蛇形加热器平板夹心电容式湿度传感器,并在此基础上对测量电路进行了有效的设计,通过微机电系统工艺对加热式湿度传感器进行设计,提出了在电容充放电的基础上与比较法的湿度测量电路,以此对湿度漂移与零点漂移进行抑制,从而降低了寄生电容对测量结果的影响.

作者：

李群芳

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作者单位：

东华计量测试研究院江西南昌 330029

关键词：

探空仪加热式湿度传感器测量电路加热器结构

出版年：

2020

探索科学

ISSN：

年,卷(期)：2020.(2)