大气低温等离子体在空心石英管中的薄膜沉积

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中文摘要：本文在空心光纤中,通入八氟环丁烷(c-C4 F8)和氦气(He)的混合气体,通过放电在石英光纤中沉积氟碳薄膜,通过实验分析检测用此种方法沉积的氟碳薄膜在石英管中分布比较均匀.通过光谱仪对放电产生的气体组分进行分析,发现气体组分有多种含碳物种例如:CF2,CN,和C2等.

外文标题：Atmospheric pressure dielectric barrier microplasmas inside hollow-core

作者：

宋佳琦、丁炜、季龙飞

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作者单位：

大连民族大学物理与材料工程学院辽宁大连 116600

关键词：

大气压等离子体氟碳集合物

基金：

大连民族大学创新训练项目

项目编号：

201912026577

出版年：

2020

探索科学

ISSN：

年,卷(期)：2020.(4)