半导体制造设备自动化作业系统设计研究

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中文摘要：随着半导体制造工艺的不断升级和复杂化,传统人工操作模式及低效自动化系统已经无法满足高精度、高效率和大规模生产需求.为满足当前半导体制造过程中对高可靠性、灵活性及智能化设备控制的迫切需求,分析半导体制造设备的类型以及自动化作业系统的应用优势,提出模块化的设计思路,将半导体制造设备自动化作业系统划分为 4 个核心模块,提升半导体制造设备的可维护性、扩展性和运行效率,以期为相关人员提供参考.

作者：

刘乐

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作者单位：

国家知识产权局专利局半导体节能器件处,北京 100000

关键词：

半导体制造设备自动化作业系统模块化

出版年：

2024

通讯世界

中国科技信息研究所（ISTIC）,美国国际数据集团（IDG）

通讯世界

影响因子：0.757

ISSN：1006-4222

年,卷(期)：2024.31(12)