科技与创新2021，Issue(4) ：83-85.DOI:10.15913/j.cnki.kjycx.2021.04.033

微机电系统温度传感器研究进展及产业现状综述

张弛 杨晓亮 唐瑞 吴洋
科技与创新2021，Issue(4) ：83-85.DOI:10.15913/j.cnki.kjycx.2021.04.033
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微机电系统温度传感器研究进展及产业现状综述

张弛 1杨晓亮 1唐瑞 1吴洋1
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  • 1. 重庆材料研究院有限公司,重庆400707
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摘要

传统的温度传感器虽然在各行业已经广泛应用,但因尺寸较大等因素,影响其应用于微型化产品中.微机电系统(MEMS)温度传感器具有高灵敏度、小体积、低功耗等优点,非常适合在集成电路系统内应用.综述了几种典型MEMS温度传感器的研究进展及其产业现状,对比分析了不同种类MEMS温度传感器其各自的优缺点.

关键词

微机电系统/MEMS/温度传感器/产业现状

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出版年

2021
科技与创新
中国计算机用户协会

科技与创新

ISSN：1008-0570
被引量3
参考文献量4
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