摘要
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛.荷电现象与热损伤是最常见的严重影响到SEM图像质量的2种现象,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或热敏性强的样品形貌表征中极为常见.以几种导电性较差样品,如无机非金属材料和有机纳米材料等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象;以热敏性较强的钢、铝合金为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、工作距离WD等参数的调节能够有效减轻SEM图像的热损伤现象,从而提高图像质量,获得更为真实的显微结构信息.
基金项目
江西理工大学校级大学生创新创业项目(DC2019-024)
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万方数据