一种数字光刻系统软硬件控制方案设计

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中文摘要：分析了数字光刻系统的控制需求,设计了一套适用于基于DMD(Digital Micromirror Device,数字微镜器件)的数字光刻系统的软硬件控制方案.该控制方案分为上位机和下位机2个部分.上位机为PC机,提供人机交互界面;下位机为树莓派,负责控制光刻系统中的DMD、光源、电控位移台等硬件.上位机和下位机使用TCP协议通信,并且软件部分统一使用图形用户界面应用程序开发框架Qt来开发,使光刻操作人员可以在上位机上完成对所有器件的控制.

作者：

王岩磊

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作者单位：

南昌航空大学测试与光电工程学院,江西南昌 330063

关键词：

数字光刻 DMD Qt TCP

出版年：

2024

DOI：

10.15913/j.cnki.kjycx.2024.02.053

科技与创新

中国计算机用户协会

科技与创新

ISSN：1008-0570

年,卷(期)：2024.(2)

参考文献量8