科技与创新2024，Issue(2) ：178-180.DOI:10.15913/j.cnki.kjycx.2024.02.053

一种数字光刻系统软硬件控制方案设计

王岩磊
科技与创新2024，Issue(2) ：178-180.DOI:10.15913/j.cnki.kjycx.2024.02.053
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一种数字光刻系统软硬件控制方案设计

王岩磊1
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作者信息

  • 1. 南昌航空大学测试与光电工程学院,江西南昌 330063
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摘要

分析了数字光刻系统的控制需求,设计了 一套适用于基于DMD(Digital Micromirror Device,数字微镜器件)的数字光刻系统的软硬件控制方案.该控制方案分为上位机和下位机2个部分.上位机为PC机,提供人机交互界面;下位机为树莓派,负责控制光刻系统中的DMD、光源、电控位移台等硬件.上位机和下位机使用TCP协议通信,并且软件部分统一使用图形用户界面应用程序开发框架Qt来开发,使光刻操作人员可以在上位机上完成对所有器件的控制.

关键词

数字光刻/DMD/Qt/TCP

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出版年

2024
科技与创新
中国计算机用户协会

科技与创新

ISSN：1008-0570
参考文献量8
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