摘要
通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料,经过退火处理后,对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试.通过X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)对材料进行表征.SEM结果显示,二氧化钛纳米薄膜表面呈现出平整致密的结构,而纳米柱材料表面呈现出疏松多孔的结构.XRD结果表明,经退火处理后2种材料均为单晶结构,呈现为锐钛矿相.二氧化钛纳米薄膜工作温度在200 ℃以上时效果较好,纳米柱材料需要在300 ℃左右才能具有最佳响应.纳米柱在最佳工作温度下对于体积分数为0.03％的乙醇气体响应度高达36.1,相比于纳米薄膜材料性能提升约200％.
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