电子束蒸发制备的TiO2纳米柱的乙醇气敏性能研究

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中文摘要：通过电子束蒸发制备了二氧化钛纳米薄膜和纳米柱材料,经过退火处理后,对2种结构的材料进行了针对乙醇的气敏测试.通过X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction,XRD)及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)对材料进行表征.SEM结果显示,二氧化钛纳米薄膜表面呈现出平整致密的结构,而纳米柱材料表面呈现出疏松多孔的结构.XRD结果表明,经退火处理后2种材料均为单晶结构,呈现为锐钛矿相.二氧化钛纳米薄膜工作温度在200 ℃以上时效果较好,纳米柱材料需要在300 ℃左右才能具有最佳响应.纳米柱在最佳工作温度下对于体积分数为0.03％的乙醇气体响应度高达36.1,相比于纳米薄膜材料性能提升约200％.

作者：

王强、杜宗泽、虞建辉、郭凌、陈龙泉

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作者单位：

电子科技大学物理学院界面物理实验室,四川成都 611731

关键词：

TiO2纳米柱材料乙醇传感器电子束蒸发掠射角沉积

出版年：

2024

DOI：

10.15913/j.cnki.kjycx.2024.06.005

科技与创新

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ISSN：1008-0570

年,卷(期)：2024.(6)

参考文献量20