不规则结构对波导的传播特性有着很大的影响,但对于MIM(Metal-Insulator-Metal,金属-介质-金属型)波导双边矩形槽并添加多凹槽结构对传播特性的影响方面的研究尚少.在研究内嵌凹槽位置对MIM波导透射特性影响的基础上,提出了在双矩形波导模型基础的内部添加多凹槽结构来影响波导的透射特性,并对波长与透射的关系及不同凹槽位置、不同凹槽数目的电场模图进行了对比分析.在凹槽位置改变时,Fano共振峰位置发生了移动,在小波长区域共振峰的数目也有所改变.随着上凹槽位置的增大,最大透射峰位置发生了蓝移,透射强度也有一定的增强;增加凹槽对数,得到波长与透射特性的关系曲线发生了改变,随着凹槽对数的增加,Fano共振峰的位置发生了一定的红移,且在小波长600～1 000 nm区域,Fano共振峰数目及透射峰值均发生了变化.这些研究结果可为预测金属缝隙波导制备过程中小尺度、多凹槽局部缺陷结构对其传播特性的影响提供理论依据.
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