面向复杂工业过程的过程监测数据相关层次结构模型研究

刘超 ¹张毅 ¹刘静涛 ¹王一¹

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作者信息

1. 91977部队北京 100036
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摘要

工业过程的过程监测技术是确保产品质量稳定可靠的重要手段.复杂工业过程流程长、层级多、多间歇,传统过程监测对生产过程数据建立单一模型,或者分阶段建模处理,在挖掘全局过程特性方面有所欠缺.数据相关层次结构模型将生产过程的物理阶段划分与动态特性划分相结合,构建了工艺、工序、工步到操作段的四层结构,并逐层分段提炼质量相关指标,建立统一的交互规范.相较而言,数据相关层次结构模型实现了多层级、全流程交互式的过程特性分析模式,具有较好的物理解释性和监测效果.模型在半导体封装工艺过程的应用予以展示.

关键词

过程监测/数据相关指标/层次结构/复杂工业过程

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出版年

2024

网络安全技术与应用

北京大学出版社

网络安全技术与应用

CHSSCD

影响因子：0.417

ISSN：1009-6833

参考文献量1

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