接触式与非接触式测量粗糙度方法探讨

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL
万方数据
维普

中文摘要：就接触式与非接触式的材料表面粗糙度测量方法进行讨论,利用触针式表面形貌仪和白光干涉仪对6种不同粗糙度的标准样块进行了表面粗糙度测量.分析了两种测量方法的原理及其优缺点,其中接触式测量方法具有测量数据稳定、操作简单、测量范围大的特点,但有局限性.而非接触测量方法可以弥补接触式测量方法的不足,具有无损伤、精度高、速度快的特点.对比发现,对于6种标准样块而言,触针式表面形貌仪与白光干涉仪测量结果相近,白光干涉仪测量结果略高于触针式表面形貌仪,但均符合测量要求(示值误差不大于5％).

外文标题：Discussion about roughness measurement by contact and non-contact methods

作者：

廖奕鸥、冯辉、张重远

展开 >

作者单位：

中国科学院金属研究所分析测试中心,辽宁沈阳110016

关键词：

接触式与非接触式触针式表面形貌仪白光干涉仪粗糙度

出版年：

2023

DOI：

10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20220038