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导模法晶体生长技术研究及应用

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在人工晶体生长技术中,导模法晶体生长技术具有"近净型"生长、材料利用率高、生长速度快以及易于实现多片晶体同步生长等优点,在晶体生长领域应用广泛,已被用于工业化生产硅、锗晶体和蓝宝石晶体等.介绍了导模法晶体生长技术国内外的研究现状,包括材料特性、生长工艺、应用领域、现存问题以及解决途径等,同时展示了同济大学在导模法生长蓝宝石多片、圆管、大尺寸板材等方面的研究成果,并展望了导模法晶体生长技术未来的发展方向以及在其他晶体材料生长方面的应用.
Study and application of the edge-defined film-fed growth technique

王东海、王庆国、李东振、徐晓东、罗平、徐军、薛艳艳、唐慧丽、方恺

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同济大学物理科学与工程学院,上海200092

江苏师范大学物理与电子工程学院,江苏徐州221116

晶体生长 导模法 蓝宝石晶体 硅晶体

2022

10.19655/j.cnki.1005-4642.2022.01.001

物理实验
东北师范大学

物理实验

影响因子：0.573
ISSN：1005-4642
年,卷(期)：2022.42(1)
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