首页|背散射方法测薄膜厚度和杂质分布

背散射方法测薄膜厚度和杂质分布

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
背散射分析是一种定量的、对重元素敏感的离子束分析技术,用于分析固体材料的近表面区域.简述了背散射分析的基本原理、实验装置及具体实验过程,详述了SIMNRA软件在背散射能谱分析中的使用方法.以具体的实验为例,描述了测定薄膜样品的成分及厚度,以及离子注入掺杂样品的杂质浓度及深度分布的测量方法,利用SIMNRA软件对背散射谱进行了模拟分析,模拟结果与实验数据符合较好.实验表明,背散射分析可精确测量薄膜样品的厚度和掺杂样品中的杂质分布.
Measuring film thickness and impurity distribution by backscattering method

徐川、付恩刚、楼建玲

展开 >

北京大学 物理学院 核物理与核技术国家重点实验室,北京 100871

背散射分析 SIMNRA 深度分辨率 注入剂量 深度分布

国家重点研发计划专项国家自然科学基金

2017YFE0302500U21B2082

2022

10.19655/j.cnki.1005-4642.2022.03.002

物理实验
东北师范大学

物理实验

影响因子：0.573
ISSN：1005-4642
年,卷(期)：2022.42(3)
  • 1
  • 6