加速度传感器的实现与检测

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中文摘要：传感器实现和检测过程中涉及多种精密测量手段.介绍了加速度传感器的基本原理,包括加速度机械敏感结构、位移-电容转换、调制-解调信号提取、闭环反馈控制等内容,并给出了加速度传感器输入-输出模型和基本测试方法.设计了加速度传感器实验装置,包括加速度传感器组装的零部件、前放电路、用于信号检测的锁相放大器、传感器静态/动态标定仪器及其他辅助设备.加速度传感器的实现与检测结果表明:在开环和闭环工作模式下,对于微弱加速度信号的传感性能均符合实验设计和预期.

外文标题：Implementation and test of an accelerometer

作者：

刘骅锋、杨正、严世涛、刘金全

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作者单位：

华中科技大学物理学院,湖北武汉430074

关键词：

加速度传感锁相放大微弱信号检测反馈控制测试

基金：

国家重点研发计划智能传感器专项国家重点研发计划智能传感器专项

项目编号：

2021FYB32016032021FYB3201604

出版年：

2022

DOI：

10.19655/j.cnki.1005-4642.2022.11.003

物理实验

东北师范大学

物理实验

影响因子：0.573

ISSN：1005-4642

年,卷(期)：2022.42(11)

参考文献量1