微纳电子技术2003，Vol.40Issue(7) ：5-7.

微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状

Research of dry etching simulator in micromachining

周荣春 张海霞 郝一龙
微纳电子技术2003，Vol.40Issue(7) ：5-7.
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微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状

Research of dry etching simulator in micromachining

周荣春 1张海霞 1郝一龙1
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作者信息

  • 1. 北京大学微电子学研究院,MEMS研究所,北京,100871
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摘要

随着MEMS技术的不断发展,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注.简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER.最后简要介绍了国内开发的DROPIE模拟工具.

关键词

MEMS/干法刻蚀/模拟工具

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出版年

2003
微纳电子技术
中国电子科技集团公司第十三研究所

微纳电子技术

影响因子：0.283
ISSN：1671-4776
被引量4
参考文献量5
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