微纳电子技术2022,Vol.59Issue(11) :1169-1176.DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2022.11.009

基于激光加工的阶梯梁式微压电振动能量采集器

Ladder-Beam Micro Piezoelectric Vibration Energy Harvester Based on Laser Machining

林琳 王保志 赖丽燕 李以贵
微纳电子技术2022,Vol.59Issue(11) :1169-1176.DOI:10.13250/j.cnki.wndz.2022.11.009

基于激光加工的阶梯梁式微压电振动能量采集器

Ladder-Beam Micro Piezoelectric Vibration Energy Harvester Based on Laser Machining

林琳 1王保志 2赖丽燕 1李以贵1
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作者信息

  • 1. 上海应用技术大学理学院,上海 201418
  • 2. 上海应用技术大学电气与电子工程学院,上海 201418
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摘要

利用波长1 064 nm光纤激光加工设备,制备了不同有效长度压电悬臂梁锆钛酸铅(PZT)压电振动能量采集器.研究了该PZT-Cu压电悬臂梁能量采集器的应力分布以及频率-电压关系,探讨了不同PZT布置长度对能量采集器的谐振频率、输出电压、最优负载以及归一化能量密度的影响.仿真分析结果显示,压电材料的宽度、压电层厚度以及悬臂梁总长均会对能量转换效率产生影响.因此进一步改进压电悬臂梁微压电能量采集器的结构设计,从而提高能量转化效率,并进行了实验验证.实验结果表明,PZT沿径向布置长度约为7 mm(即PZT布置长度/悬臂梁总长=7/32)时,该压电能量采集器能量转化效率最优,与仿真结论基本吻合.研究结果为压电能量采集器的结构优化提供了一种可靠的方案.

关键词

压电能量采集器/微电子机械系统(MEMS)/激光加工工艺/锆钛酸铅(PZT)/悬臂梁

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基金项目

出版年

2022
微纳电子技术
中国电子科技集团公司第十三研究所

微纳电子技术

CSTPCD北大核心
影响因子:0.283
ISSN:1671-4776
被引量2
参考文献量1
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