摘要
为了在使用入耳式耳机进行日常活动时,可以通过监测耳内温度来评估健康状况,研制了一种柔性铂薄膜温度传感器.传感器的感温单元设计为蛇形结构,可以共形贴附于曲面.制备过程中,采用磁控溅射技术在已图形化的柔性基板表面沉积铂,省去光刻、显影等工艺,直接完成对铂薄膜的图形化.在25～45 ℃的温度范围内,传感器的电阻温度系数为0.002 8/℃,分辨率为0.1 ℃,能够满足体温测量对传感器性能的要求.将传感器集成至耳机耳塞上,并通过标定实验得到电阻-温度关系公式.研发了基于传感器的无线入耳式体温监测系统,结合手机应用程序(APP)进行实际体温测量.在36.3～36.7 ℃的温度范围内,对同一位使用者测温的平均误差为±0.058 ℃,表明该传感器能够准确获取耳内体温.
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